电镀台
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电镀台
详细信息 电镀台 主要用于2-4英寸硅片的电镀清洗工艺 尺寸(参考)：2000mm(L)×1200mm(W)×2100mm(H)；主要材料：10mm厚瓷白PP板，优质不锈钢骨架；台面板开Φ10mm洞洞板；安全门：透明PVC活动门（折叠门或上下推拉门），保证设备外部环境符合劳动保护的相关标准，以保证设备操作人员及其周围工作人员的身体健康；DIW管路及构件采用国产优质PP管材，需满足10--18MW去离子水水质要求；排酸、排碱管路采用PFA管；电镀电源1套；配有1套双脉冲电源（电流0-2A，电源精度为0.1Ma,可调）；磁力搅拌，保证电镀液的均匀，从而保证镀层的一致性；过滤器，药液循环过滤，保证药液的洁净度；循环泵 ， 药液循环，循环药液，保证温度均一及药液的纯度配有阴极摆动装置，阴极杆采用V型槽滑动结构，截面为三角形，保证摇摆的稳定性。阴极摆动采用40W电机带动蜗轮蜗杆，摆动速度可调节，摆动行程大约40mm；工件挂具设计以方便装卸硅片为主，通过4个探针接触到硅片1、2圆位置，保证镀层均匀下，装配工件时，旋转探针，到硅片位置后旋转压紧螺母，取工件时，先松开压紧螺母，探针弹起，旋转探针，取下工件。该挂具所有的电线连接均在挂具密封盒里，外面看不到导线，美观实用槽体内配有德国浸入式磁驱搅拌器设备顶部装有照明灯（防爆灯）；设备后部安装活动门，方便快速维修管道等部件，保证生产需要；设备前部装有活动门，以便设备内部放一些烧杯或化学药品等物品
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